信頼性
TDDB(経時絶縁破壊)の説明として正しいものはどれか。
- A電流によって配線の金属原子が移動する現象
- B温度変化の繰り返しで、はんだ接合部が疲労する現象
- Cゲート絶縁膜に電界を加え続けると、一定時間後に絶縁破壊が起こる現象
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正解:C. ゲート絶縁膜に電界を加え続けると、一定時間後に絶縁破壊が起こる現象
TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown)は、絶縁破壊を起こさない程度の電界でも、長時間加え続けると絶縁膜中に欠陥が少しずつ生じ、やがて破壊に至る現象です。ゲート絶縁膜が薄くなるほど重要な信頼性項目になります。