プロセス材料(ガス・薬液)
熱処理炉で使う石英の部品を高温で長く使い続けたときに起こりやすい劣化はどれか。
- A失透(ガラスが結晶化して白く濁る)
- B導電性をもつ
- C磁石になる
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正解：A. 失透(ガラスが結晶化して白く濁る)
石英ガラスは高温で長時間使うと、表面から結晶(クリストバライト)に変わる失透が起こります。失透した部分は熱膨張の差で割れやすくなったり、パーティクルを出したりするため、部品は定期的に交換されます。アルカリ金属などの汚染があると失透は進みやすくなります。
- A. 正しい。結晶化して白く濁る失透が起こります。
- B. 石英は高温でも絶縁体です。
- C. 石英は磁性をもちません。