プロセス材料(ガス・薬液)
高純度ガス中の微量の水分の量を表すのによく使われる指標はどれか。
- ApH
- B比重
- C露点(水分が凝結し始める温度)
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正解：C. 露点(水分が凝結し始める温度)
ガス中の水分は、冷やしていったときに水分が凝結し始める温度(露点)で表されることがよくあります。露点が低いほど水分は少なく、例えば −100℃前後の露点はppbレベルの水分に相当します。水分は配管の腐食や膜の品質の低下の原因になります。
- A. pHは液体の酸性・アルカリ性の指標です。
- B. 比重は密度の比で、水分量の指標ではありません。
- C. 正しい。露点で水分の量を表します。