プロセス材料(ガス・薬液)
ガスの配管で、ガスが流れずにたまる行き止まりの部分(デッドスペース)を少なくする設計が求められる理由はどれか。
- A配管を長くするため
- Bたまったガスや水分、不純物が入れ替わりにくく、汚染源になったり、ガスの切り替えに時間がかかったりするため
- C配管の色をそろえるため
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正解:B. たまったガスや水分、不純物が入れ替わりにくく、汚染源になったり、ガスの切り替えに時間がかかったりするため
デッドスペースにはガスや水分、不純物がたまり、パージしても入れ替わりにくくなります。これがプロセスガスを汚染したり、異なるガスに切り替えるときに前のガスが残ったりする原因になるため、配管やバルブはデッドスペースが少なくなるように設計されます。
- A. 配管を長くするためではありません。
- B. 正しい。汚染源になり、切り替えにも時間がかかるためです。
- C. 色の問題ではありません。