공정 재료(가스와 케미칼)
디보레인이나 포스핀 같은 도펀트용 가스가 대개 수소나 질소 등으로 낮은 농도로 희석된 상태로 공급되는 주된 이유는 무엇입니까?
- A가스의 색을 바꾸기 위해
- B필요한 첨가량이 매우 적어 유량을 정밀하게 제어하기 쉽게 하고, 독성과 반응성의 리스크를 낮추기 위해
- C냄새를 강하게 하기 위해
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정답: B. 필요한 첨가량이 매우 적어 유량을 정밀하게 제어하기 쉽게 하고, 독성과 반응성의 리스크를 낮추기 위해
도펀트의 첨가량은 극미량이므로, 순수 가스 그대로는 유량이 너무 작아 매스 플로 컨트롤러로 정밀하게 제어할 수 없습니다. 수소나 질소로 수 %~ppm 수준으로 희석해 두면 다루기 쉬운 유량으로 필요한 양을 정확하게 보낼 수 있습니다. 희석하면 누출 시의 농도도 낮아져 독성이나 자연발화의 위험을 줄일 수 있습니다. 디보레인은 순수 가스에서는 실온에서도 서서히 분해되므로, 희석은 안정성 면에서도 도움이 됩니다.
- A. 색을 바꾸기 위한 것이 아닙니다.
- B. 맞습니다. 정밀한 제어와 안전성을 위해 희석합니다.
- C. 냄새를 강하게 하기 위한 것이 아닙니다.