高純度ガスの配管の継手として広く使われる、金属のガスケットを面で押しつぶしてシールする方式はどれか。

正解：C. VCR継手などの金属ガスケット面シール継手

高純度ガスの配管では、金属のガスケットを締め付けて面で密閉する継手(VCRなど)が使われます。ゴムやシールテープを使わないため、外部からの水分などの透過やガスの汚染、パーティクルの発生を抑えられ、高い気密性が得られます。

• A. ゴムは水分などを透過し、ガスを汚染するおそれがあります。
• B. シールテープは汚染源になるため高純度配管には使いません。
• C. 正しい。金属ガスケットで面シールする継手です。