공정 재료(가스와 케미칼)
성막이나 식각 장치에서 가스 유량을 정밀하게 측정하면서 일정하게 제어하는 기기는 무엇입니까?
- A매스 플로 컨트롤러(MFC)
- B압력계만
- C가스 봄베의 밸브
정답과 해설 보기
정답: A. 매스 플로 컨트롤러(MFC)
매스 플로 컨트롤러는 가스의 질량 유량을 센서로 측정하고, 내장된 밸브를 조절하여 설정값으로 유지하는 기기입니다. 대표적인 열식에서는 가는 관을 흐르는 가스가 운반하는 열량의 차이로 유량을 구합니다. 유량 단위로는 sccm(표준 상태에서 1분당 cm³)이 자주 쓰입니다. 성막 속도, 막의 조성, 식각 선택비는 유량에 따라 크게 달라지므로 각 가스 라인에 MFC가 설치됩니다.
- A. 맞습니다. 유량을 측정하고 제어하는 기기입니다.
- B. 압력계는 압력을 측정할 뿐 유량은 제어하지 않습니다.
- C. 봄베의 밸브만으로는 정밀한 유량 제어를 할 수 없습니다.