製程材料(氣體與藥液)

關於光阻的一般保存方法,下列何者適當?

  1. A放在日照充足的明亮場所
  2. B放入遮光容器,以規定的溫度(冷藏等)保存,並在有效期限內使用
  3. C開蓋後直接放在室溫下保存
查看答案與解析

正確答案:B. 放入遮光容器,以規定的溫度(冷藏等)保存,並在有效期限內使用

光阻是會因光或熱而反應的感光性材料,因此要放入遮光容器,以冷藏等指定的溫度保存,並在有效期限內使用。冷藏過的瓶子必須先回到室溫再開啟,否則凝結的水分會混入而改變性能。使用之前要以細微的過濾器過濾以去除異物。工廠使用黃色照明的黃光室,也是為了避開光阻會感應的短波長光。

  • A. 光線照射會使光阻起反應而變質。
  • B. 正確。要遮光並以規定的溫度保存。
  • C. 開蓋後溶劑會蒸發,異物也會混入。
練習這個領域 前往領域頁面

製程材料(氣體與藥液)的其他題目

  1. 在半導體廠中,超純水用量最大的用途為下列何者?
  2. 半導體製造所使用的氣體與化學品要求非常高的純度,其主要理由為下列何者?
  3. 高純度氣體管線一般使用的材料與表面處理之組合,下列何者正確?
  4. 在成膜或蝕刻設備中,精密量測氣體流量並將其控制為定值的設備為下列何者?
  5. 關於廣泛用於g線、i線曝光的正型光阻之主要構成,下列何者正確?