Cuのシード層用スパッタリングターゲットに求められる純度の目安として正しいものはどれか。

正解：A. 6N(99.9999%)程度の高純度

スパッタリングターゲットの不純物は、そのまま膜に取り込まれ、配線の抵抗や信頼性に影響します。そのため、Cuターゲットには6N程度の高い純度が求められます。また、結晶粒の大きさや向きをそろえることで、膜の均一性を高めています。