공정 재료(가스와 케미칼)

Cu 시드층용 스퍼터링 타깃에 요구되는 순도의 기준으로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A6N(99.9999%) 정도의 고순도
  2. B90% 정도
  3. C50% 정도
정답과 해설 보기

정답: A. 6N(99.9999%) 정도의 고순도

스퍼터링 타깃의 불순물은 그대로 막에 들어가 배선의 저항과 일렉트로마이그레이션 내성을 악화시킵니다. 그래서 Cu 타깃에는 6N(99.9999%) 정도의 고순도가 요구됩니다. 또한 결정립의 크기와 방향을 맞추면 튀어나오는 원자의 방향과 속도가 안정되어 막 두께의 균일성이 높아집니다. 90%나 50%의 순도로는 배선으로 쓸 수 있는 막이 되지 않습니다.

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