プロセス材料(ガス・薬液)

洗浄後の乾燥などに使われるIPAの化学名として正しいものはどれか。

  1. Aメタノール
  2. Bエタノール
  3. Cイソプロピルアルコール(2-プロパノール)
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正解：C. イソプロピルアルコール(2-プロパノール)

IPAはイソプロピルアルコール(2-プロパノール)の略です。水と混ざりやすく表面張力が小さいため、洗浄後のウエハの水と置き換えて乾燥させるのに使われます。引火性の液体なので、静電気対策や換気などの安全対策のもとで使用します。

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