공정 재료(가스와 케미칼)

EUV 마스크의 반사 다층막에 쓰이는 재료의 조합으로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A금과 은
  2. B구리와 알루미늄
  3. C몰리브데넘과 실리콘
정답과 해설 보기

정답: C. 몰리브데넘과 실리콘

EUV 마스크와 노광 장치의 거울에는 몰리브데넘과 실리콘의 얇은 층을 주기 약 7 nm로 40쌍 정도 번갈아 쌓은 다층막이 쓰입니다. 각 계면에서 조금씩 반사된 빛의 위상이 맞도록 두께를 설계하므로, 13.5 nm의 빛을 약 70% 반사할 수 있습니다. EUV는 모든 물질에 강하게 흡수되므로 렌즈가 아닌 반사 광학계가 필요합니다. 표면은 루테늄 등의 보호층으로 덮습니다.

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