塩化水素などのハロゲン系のガスの配管で、ガス中の水分をとくに厳しく管理する理由として正しいものはどれか。

正解：B. 水分があると塩酸のような腐食性の液体になり、ステンレスの配管を腐食させて金属汚染の原因になるため

乾いた塩化水素はステンレスをほとんど腐食しませんが、水分が加わると強い腐食性をもつようになります。配管の内面が腐食すると、鉄やクロムなどの金属がガスに混じってウエハを汚染したり、パーティクルが出たりします。そのため水分を極めて低く管理します。

• A. 重さが変わることが問題なのではありません。
• B. 正しい。水分があると腐食性が強まり、金属汚染の原因になります。
• C. 色が変わることが問題なのではありません。