대전류 이온 주입 중에 웨이퍼를 냉각하는 주된 이유는 무엇인가?

정답: B. 빔의 에너지로 웨이퍼 온도가 올라 마스크 레지스트가 변질되거나 주입 상태가 달라지는 것을 방지하기 위해

대전류 주입에서는 예를 들어 수십 keV × 수십 mA로 수백 W~1 kW에 가까운 빔 에너지가 웨이퍼에 들어가므로, 냉각하지 않으면 온도가 100 ℃ 이상으로 올라갑니다. 레지스트가 변형·변질되면 마스크 치수가 바뀌거나 제거가 어려워집니다. 또한 온도에 따라 손상 회복 정도(비정질화되기 쉬운 정도)가 달라지므로, 웨이퍼를 정전 척으로 냉각하여 온도를 관리합니다. 최근에는 일부러 저온에서 주입하여 손상의 성질을 제어하는 방법도 있습니다.

• A. 냉각으로 주입 깊이가 깊어지는 것은 아닙니다.
• B. 올바릅니다. 온도 상승에 따른 레지스트 변질 등을 방지합니다.
• C. 이온의 질량은 냉각으로 바뀌지 않습니다.