이온 주입

웨이퍼 박리(스마트 컷)나 전력 소자의 라이프타임 제어 등에 사용되는 이온 주입으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A비소의 고도즈 주입
  2. B수소나 헬륨 등 가벼운 이온의 주입
  3. C안티몬의 저에너지 주입
정답과 해설 보기

정답: B. 수소나 헬륨 등 가벼운 이온의 주입

수소를 약 5×10¹⁶ cm⁻² 주입하면 주입한 깊이에 미세한 공동이 늘어서 생기고, 400~500 ℃ 정도의 열처리로 그곳에서 층 모양으로 박리시킬 수 있습니다(스마트 컷). 또한 수소나 헬륨 주입으로 만든 결함은 재결합 중심으로 작동하므로, IGBT나 다이오드의 특정 깊이에서만 캐리어 라이프타임을 짧게 하여 테일 전류나 역회복을 빠르게 하는 데에도 사용됩니다.

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