이온 주입

이온 주입에서 웨이퍼 면내의 도즈를 균일하게 하기 위한 방법으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A빔을 한 점에 고정하여 계속 쏜다
  2. B빔이나 웨이퍼를 주사하여 웨이퍼 전면에 균일하게 쏜다
  3. C웨이퍼를 계속 가열한다
정답과 해설 보기

정답: B. 빔이나 웨이퍼를 주사하여 웨이퍼 전면에 균일하게 쏜다

이온 빔은 웨이퍼보다 작기 때문에, 빔을 전기장이나 자기장으로 가로로 흔들거나, 웨이퍼를 기계적으로 움직이거나, 빔을 띠 모양으로 넓혀 웨이퍼를 한 방향으로 움직이는 등 전면을 주사하면서 주입합니다. 주사 속도를 위치별로 보정하고, 패러데이 컵으로 빔 분포를 측정해 피드백함으로써 웨이퍼 면내 도즈의 편차를 0.5 % 정도 이하로 억제합니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

이온 주입의 다른 문제

  1. 이온 주입 장치에서 주입한 이온의 양(도즈)을 구하기 위해 빔 전류를 측정하는 부품은 무엇인가?
  2. 얕은 p형 접합을 만들 때 붕소와 함께 탄소 등을 주입(공동 주입)하는 주된 목적은 무엇인가?
  3. 이온 주입 장치의 이온 소스에서 붕소 이온을 만드는 데 사용되는 대표적인 가스는 무엇인가?
  4. 수 MeV에 이르는 고에너지 이온 주입이 사용되는 용도의 예로 올바른 것은 무엇인가?
  5. 도즈량 1×10¹⁵ cm⁻²의 불순물이 깊이 100 nm 범위에 균일하게 분포한다고 하면, 평균 농도는 대략 얼마인가?

이 분야의 비교