配線プロセス

エレクトロマイグレーションの試験で、ある長さより短い配線では寿命が大きく延びる(劣化がほとんど進まない)現象が知られている。この現象の名前はどれか。

  1. Aブレック効果(短配線効果)
  2. Bミラー効果
  3. Cアーリー効果
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正解:A. ブレック効果(短配線効果)

エレクトロマイグレーションで原子が一方向に運ばれると、配線の端に応力の勾配ができ、それが逆向きの原子の流れを生みます。配線が短いと、この逆流が電流による流れとつり合って、劣化がほとんど進まなくなります。この臨界長さ×電流密度の関係をブレック効果といい、設計の電流密度の規則に利用されます。

  • A. 正しい。短い配線で劣化が抑えられる効果です。
  • B. ミラー効果は帰還容量が利得倍に見える効果です。
  • C. アーリー効果はトランジスタの出力特性の傾きに関する効果です。
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