배선 공정
일렉트로마이그레이션 시험에서 어떤 길이보다 짧은 배선은 수명이 크게 늘어나는(열화가 거의 진행되지 않는) 현상이 알려져 있다. 이 현상의 이름은?
- A블레흐 효과(짧은 배선 효과)
- B밀러 효과
- C어얼리 효과
정답과 해설 보기
정답: A. 블레흐 효과(짧은 배선 효과)
일렉트로마이그레이션으로 원자가 한 방향으로 운반되면 배선 끝에 응력 구배가 생기고, 이것이 반대 방향의 원자 흐름(백플로)을 만듭니다. 배선이 짧으면 이 역류가 전류에 의한 흐름과 균형을 이루어 열화가 거의 진행되지 않게 됩니다. 전류 밀도 × 길이(jL 곱)가 임계값(Cu에서 수천 A/cm 정도) 이하이면 고장 나지 않는다는 이 블레흐 효과는 짧은 배선의 전류 밀도 규칙을 완화하는 데 사용됩니다.
- A. 맞습니다. 짧은 배선에서 열화가 억제되는 효과입니다.
- B. 밀러 효과는 귀환 용량이 이득 배로 보이는 효과입니다.
- C. 어얼리 효과는 트랜지스터 출력 특성의 기울기에 관한 효과입니다.