反応性スパッタで、反応ガスの流量を増やしすぎたときに、ターゲットの表面が化合物で覆われて成膜速度が急に下がる現象を何と呼ぶか。

正解：A. ターゲットの被毒(ポイズニング)

反応性スパッタでは、窒素や酸素などの反応ガスが増えると、ターゲットの表面自体が窒化物や酸化物で覆われます。化合物はスパッタ収率が低いため、成膜速度が急に下がります。これを被毒といい、ガスの量に対して成膜速度がヒステリシスを示すため、制御に工夫が必要です。

• A. 正しい。ターゲットの表面が化合物で覆われる現象です。
• B. ブルーミングはイメージセンサで電荷があふれる現象です。
• C. スティクションはMEMSの可動部が張り付く現象です。