化合物半導体
VCSEL(垂直共振器面発光レーザー)の特徴として正しいものはどれか。
- A基板と平行な方向に光を出し、劈開しないと検査できない
- BLEDと同じく自然放出の光だけを出す
- C基板に垂直な方向に光を出し、ウエハの状態で検査しやすく、2次元に並べることも容易である
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正解:C. 基板に垂直な方向に光を出し、ウエハの状態で検査しやすく、2次元に並べることも容易である
VCSELは、上下を多層膜反射鏡で挟んだ共振器をもち、ウエハ面に垂直な方向にレーザー光を出します。ウエハのまま特性を検査でき、多数の素子を2次元に並べられるため、スマートフォンの顔認証用の光源や、データセンターの光通信などに使われています。