GaAsなどの化合物半導体ウエハの一般的な口径について正しいものはどれか。

正解：C. シリコンウエハより小さい口径(150 mm程度以下)が主流である

化合物半導体は、大きく欠陥の少ない単結晶を育成するのが難しく、GaAsで150 mm程度、InPではさらに小さい口径が一般的です。シリコンの300 mmと比べて1枚から取れるチップ数が少なく、コストが高くなる要因の一つです。