多数のウエハを同じ洗浄液の槽に浸して洗うバッチ式の洗浄の注意点として正しいものはどれか。

正解：A. ウエハから溶け出したり落ちたりした汚染が液を通じて他のウエハに移る(相互汚染)おそれがある

バッチ式では、多数のウエハを同じ槽で処理するため処理能力は高い一方、あるウエハから出た汚染が液中に広がり、他のウエハに付着するおそれがあります。そのため、液の交換や循環・ろ過の管理が重要で、汚染に敏感な工程では枚葉式も使われます。

• A. 正しい。液を通じた相互汚染に注意が必要です。
• B. バッチ式は多数のウエハを同時に処理します。
• C. バッチ式も薬液を使って洗浄します。