クリーンルーム・製造装置

FOUPの説明として正しいものはどれか。

  1. A露光装置の光源
  2. Bウエハを研磨する装置
  3. C300 mmウエハを密閉した状態で搬送・保管する容器
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正解：C. 300 mmウエハを密閉した状態で搬送・保管する容器

FOUP(Front Opening Unified Pod)は、300 mmウエハを密閉して搬送・保管するための前開き式の容器です。ウエハをFOUPの中と装置の中だけで清浄に保つことで、工場全体を超高清浄にしなくても汚染を防げます。FOUPは天井搬送などで自動的に運ばれます。

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