클린룸과 장비

전자빔 묘화 장비나 전자현미경 등을 설치할 때 진동 외에 특히 배려가 필요한 환경 요인은 무엇인가?

  1. A외부 소음
  2. B주변 전원 케이블이나 엘리베이터 등에서 발생하는 자기장의 변동
  3. C조명의 색
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정답: B. 주변 전원 케이블이나 엘리베이터 등에서 발생하는 자기장의 변동

전자빔은 전하를 가지므로 미세한 자기장 변동에도 로런츠 힘에 의해 휘어져 묘화 위치 어긋남이나 상의 흐려짐·흔들림의 원인이 됩니다. 지자기 세기의 수천 분의 1 정도 변동에도 영향이 나타날 수 있습니다. 그래서 대전류 케이블이나 변압기, 엘리베이터 등에서 떨어뜨려 설치하거나, 자기 차폐나 자기장을 상쇄하는 액티브 장치를 사용합니다. 조명의 색은 영향을 주지 않습니다.

  • A. 소음도 진동의 원인이 되지만 전자빔에 특유한 요인은 아닙니다.
  • B. 맞습니다. 자기장의 변동이 전자빔을 휘게 합니다.
  • C. 조명의 색은 전자빔에 영향을 주지 않습니다.
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