클린룸과 장비
천장 일부에서 청정 공기를 내보내 실내 공기와 섞어 희석하면서 청정도를 유지하는 방식의 클린룸은 무엇인가? 청정도는 단방향류보다 낮지만 설비비는 저렴하다.
- A비단방향류(난류) 방식
- B다운플로(수직 단방향류) 방식
- C미니인바이런먼트 방식
정답과 해설 보기
정답: A. 비단방향류(난류) 방식
비단방향류 방식은 천장 취출구에서 청정 공기를 보내 실내 공기와 섞어 입자를 희석하면서 배기합니다. 풍량이 적게 들고 설비비와 운전비는 저렴하지만, 도달할 수 있는 청정도는 단방향류 방식보다 낮아 ISO 클래스 6~8 정도의 구역에 사용됩니다. 반도체 공장에서는 후공정이나 전실, 미니인바이런먼트 외부 구역 등에 사용됩니다.
- A. 맞습니다. 공기를 섞어 희석하는 방식입니다.
- B. 다운플로는 천장 전면에서 바닥으로 단방향으로 흘리는 방식입니다.
- C. 미니인바이런먼트는 웨이퍼 주위의 좁은 공간만 청정하게 하는 개념입니다.