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Rendement et contrôle qualité

Parmi les défauts présents sur le wafer, comment appelle-t-on ceux qui provoquent effectivement une défaillance électrique de la puce ?

  1. ADéfaut tueur (killer defect)
  2. BFaux défaut
  3. CDéfaut nuisible (nuisance defect)
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Réponse : A. Défaut tueur (killer defect)

Tous les défauts détectés à l'inspection n'entraînent pas une défaillance. Les défauts provoquant une défaillance électrique, comme une grosse particule chevauchant deux interconnexions, sont appelés défauts tueurs. Le kill ratio (proportion de défauts entraînant une défaillance) est estimé à partir de la taille, de la position et de la couche du défaut pour prédire l'impact sur le rendement. Les défauts sans conséquence et les faux défauts relevés à tort par l'équipement d'inspection sont appelés défauts nuisibles.

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