Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Wat is het belangrijkste doel van het analyseren van een wafermap, waarin de wafertestresultaten per chippositie op de wafer als goed of defect zijn weergegeven?

  1. ADe verkoopprijs van de chips bepalen
  2. BUit het verdelingspatroon van defecten het proces of de apparatuur afleiden die de oorzaak is
  3. CDe volgorde van het dicen bepalen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Uit het verdelingspatroon van defecten het proces of de apparatuur afleiden die de oorzaak is

Het verdelingspatroon hangt af van de oorzaak: als defecte chips zich aan de rand van de wafer concentreren, wijst dat op de uniformiteit over de wafer van afzetting of etsen; als ze steeds op dezelfde positie terugkeren, op een reticledefect; als ze in strepen liggen, op krassen of transportproblemen. Door wafermaps te analyseren en over veel wafers te leggen, kan het probleemproces of de problematische apparatuur worden afgeleid. Het dient niet om de prijs of de volgorde van het dicen te bepalen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

  1. Met welke factor neemt het waferoppervlak bij benadering toe wanneer de waferdiameter bij verder gelijke voorwaarden van 200 mm naar 300 mm gaat?
  2. Welk voorbeeld in een regelkaart moet als afwijking worden beoordeeld, ook al liggen alle punten binnen de regelgrenzen?
  3. Hoe groot is de yield bij benadering volgens het Poissonmodel Y = exp(−D × A) bij een defectdichtheid D = 0,1 per cm² en een chipoppervlak A = 1 cm²?
  4. Hoe heet een defect op de wafer dat daadwerkelijk een elektrisch defect van de chip veroorzaakt?
  5. Welk diagram deelt gegevens in een aantal klassen in, toont de frequenties als staven en laat de vorm van de spreidingsverdeling zien?