Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Met welke factor neemt het waferoppervlak bij benadering toe wanneer de waferdiameter bij verder gelijke voorwaarden van 200 mm naar 300 mm gaat?
- ACirca 2,25 keer
- B1,5 keer
- C3 keer
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Circa 2,25 keer
Het oppervlak is evenredig met het kwadraat van de diameter, dus (300 / 200)² = 1,5² = 2,25 keer. 1,5 keer is een fout door de verhouding van de diameters rechtstreeks te gebruiken en 3 keer is te hoog. In werkelijkheid neemt het aandeel chips dat aan de rand afbreekt en onbruikbaar is af, zodat het aantal chips meer dan 2,25 keer zo groot wordt. Ook het verwerkte oppervlak per apparaat neemt toe, zodat de kosten per chip dalen. Dit is de reden waarom de diameters steeds groter zijn geworden.