Siliciumwafers
Wat is de belangrijkste reden om bij het einde van het trekken van een monokristal met de CZ-methode de diameter van de ingot geleidelijk te laten afnemen (het staartstuk toe te spitsen) voordat hij van de smelt wordt losgemaakt?
- ADe zuurstofconcentratie verhogen
- BOm te voorkomen dat bij abrupt loskomen van de smelt slipdislocaties door thermische schok ontstaan en zich in het kristal voortplanten
- CDe ingot lichter maken
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Om te voorkomen dat bij abrupt loskomen van de smelt slipdislocaties door thermische schok ontstaan en zich in het kristal voortplanten
Wanneer de ingot met grote diameter van de smelt wordt losgemaakt, ontstaan door de plotselinge temperatuurverandering thermische spanningen die dislocaties veroorzaken; deze planten zich over een afstand van ongeveer de diameter omhoog in het kristal voort en beschadigen het cilindrische deel dat product wordt. Door de diameter geleidelijk kegelvormig te verkleinen alvorens los te maken, worden het ontstaan en de voortplanting van deze dislocaties voorkomen. Schouder en staartstuk worden geen product, zodat het verkorten van hun lengte ook een kostenbesparingsonderwerp is.