Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Hoe heet de handeling waarbij vóór het openen van een gasleiding of het omschakelen naar een ander gas herhaaldelijk onder druk wordt gezet met inert gas en weer wordt afgevoerd?

  1. ACyclisch spoelen (cycle purge)
  2. BDroog etsen
  3. CGloeien (annealing)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Cyclisch spoelen (cycle purge)

Cyclisch spoelen is een methode waarbij de leiding met inert gas zoals stikstof onder druk wordt gezet, vervolgens vacuüm wordt getrokken of afgevoerd, en dit vele malen wordt herhaald om achtergebleven gas en water te verdunnen en te verwijderen. Omdat de concentratie telkens met een vaste factor daalt, kan ze bij een omstandigheid waarbij ze per keer tot 1/10 wordt, na 5 keer tot een honderdduizendste worden verlaagd. Het wordt uitgevoerd om veiligheid en zuiverheid te waarborgen, bijvoorbeeld bij het wisselen van cilinders met giftig gas.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Wat is de juiste reden dat in leidingen voor halogeengassen zoals waterstofchloride het water in het gas bijzonder streng wordt beheerd?
  2. Wat is het belangrijkste gevaar bij het hanteren van silaan (SiH4), dat onder meer als grondstof voor CVD wordt gebruikt?
  3. Welke waarde is het meest geschikt als richtwaarde voor de zuiverheid die van polykristallijn silicium (polysilicium) als grondstof voor halfgeleiders wordt gevraagd?
  4. Welke gebruikelijke maatstaf wordt gebruikt voor de zuiverheidsbewaking van ultrazuiver water in de halfgeleiderproductie?
  5. Welk gas wordt hoofdzakelijk gebruikt voor het droog etsen van siliciumoxide (SiO2)?