Hoe heet het verschijnsel waarbij bij LOCOS onder het nitridemasker een dun nitride aan het siliciumoppervlak ontstaat, waardoor het latere gate-oxide plaatselijk dun of defect wordt?

Antwoord: C. Kooi-effect (white ribbon)

Tijdens veldoxidatie kan nitridefilm met waterdamp reageren tot ammoniak, waardoor het siliciumoppervlak onder de rand van de nitridefilm wordt genitrideerd. Als dit nitride als een wit lint achterblijft, wordt bij de latere gate-oxidatie de oxidefilm daar dun, wat doorslagproblemen veroorzaakt. Het heet het Kooi-effect, omdat Kooi et al. het in 1976 rapporteerden, en wordt aangepakt met een opofferingsoxidatie, waarbij eerst wordt geoxideerd en het nitride samen met het oxide wordt verwijderd.