En LOCOS, comment s’appelle le phénomène par lequel un mince nitrure se forme à la surface du silicium sous le masque de nitrure, rendant l’oxyde de grille ultérieur localement plus mince ou défectueux ?

Réponse : C. Effet Kooi (white ribbon)

Pendant l’oxydation de champ, le nitrure réagit avec la vapeur d’eau pour produire de l’ammoniac, qui peut nitrurer la surface du silicium sous le bord du nitrure. Si ce nitrure subsiste comme un ruban blanc, l’oxyde y est plus mince lors de l’oxydation de grille ultérieure, ce qui provoque des défauts de tenue en tension. Rapporté par Kooi et al. en 1976, il est appelé effet Kooi ; on y remédie par une oxydation sacrificielle, qui oxyde puis retire le nitrure avec l’oxyde.