Oxidation und Diffusion

Wie heißt bei LOCOS das Phänomen, dass auf der Siliziumoberfläche unter der Nitridmaske dünnes Nitrid entsteht und das spätere Gateoxid lokal dünn oder fehlerhaft wird?

  1. ADishing
  2. BBird's Beak
  3. CKooi-Effekt (White Ribbon)
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Antwort: C. Kooi-Effekt (White Ribbon)

Bei der Feldoxidation reagieren Nitridfilm und Wasserdampf zu Ammoniak, wodurch die Siliziumoberfläche unter dem Rand des Nitridfilms nitridiert werden kann. Bleibt dieses Nitrid wie ein weißes Band zurück, wird das Oxid bei der späteren Gateoxidation dort dünn und führt zu Durchbruchfehlern. Nach der Berichterstattung von Kooi u. a. 1976 heißt es Kooi-Effekt; Abhilfe schafft eine Opferoxidation, bei der einmal oxidiert und das Nitrid zusammen mit dem Oxid entfernt wird.

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