LOCOSで、窒化膜マスクの下のシリコン表面に薄い窒化物ができ、後のゲート酸化膜が局所的に薄くなったり不良になったりする現象を何と呼ぶか。

正解：C. クーイ効果(ホワイトリボン)

フィールド酸化中に窒化膜と水蒸気の反応でアンモニアなどができ、窒化膜の端の下のシリコン表面が窒化されることがあります。この窒化物があると、後のゲート酸化でその部分の酸化膜が薄くなり、耐圧不良の原因になります。クーイ効果と呼ばれ、犠牲酸化とその除去で対策します。

• A. ディッシングはCMPで配線の中央がへこむ現象です。
• B. バーズビークは、窒化膜の端の下に酸化膜が食い込む現象です。
• C. 正しい。窒化物によってゲート酸化膜が局所的に不良になる現象です。