산화와 확산
LOCOS에서 질화막 마스크 아래 실리콘 표면에 얇은 질화물이 생겨, 이후의 게이트 산화막이 국소적으로 얇아지거나 불량이 되는 현상을 무엇이라고 합니까?
- A디싱
- B버즈비크
- C쿠이 효과(화이트 리본)
정답과 해설 보기
정답: C. 쿠이 효과(화이트 리본)
필드 산화 중에 질화막과 수증기가 반응하여 암모니아가 생기고, 질화막 가장자리 아래의 실리콘 표면이 질화되는 경우가 있습니다. 이 질화물이 하얀 리본처럼 남으면 이후의 게이트 산화에서 그 부분의 산화막이 얇아져 내압 불량의 원인이 됩니다. 1976년에 Kooi 등이 보고했기 때문에 쿠이 효과라고 부르며, 한 번 산화하여 질화물째 제거하는 희생 산화로 대책을 세웁니다.
- A. 디싱은 CMP에서 배선 중앙이 오목해지는 현상입니다.
- B. 버즈비크는 질화막 가장자리 아래로 산화막이 파고드는 현상입니다.
- C. 올바릅니다. 질화물 때문에 게이트 산화막이 국소적으로 불량이 되는 현상입니다.