Hoe gedraagt de capaciteit zich in de C-V-karakteristiek van een MOS-condensator met p-type substraat, gemeten bij hoge frequentie, wanneer een grote positieve spanning op de gate wordt gezet en sterke inversie ontstaat?

Antwoord: A. Wordt vrijwel constant op de minimumwaarde

Bij hoge frequentie (gewoonlijk 1 MHz) kan de generatie van minderheidsladingdragers in de inversielaag de verandering van het signaal niet bijhouden, zodat de inversielaag niet bijdraagt aan de wisselstroomcapaciteit. De capaciteit is daarom vrijwel constant op de minimumwaarde die wordt bepaald door de serieschakeling van Cox en de uitputtingslaagcapaciteit bij maximale uitputtingslaagbreedte. Bij lage frequentie (quasi-statisch) reageert de inversielaag en keert de capaciteit terug tot Cox. Uit de verhouding van minimum- en maximumcapaciteit kan de onzuiverheidsconcentratie van het substraat worden bepaald, en dit wordt gebruikt voor het beoordelen van MOS-structuren.