Welk element, zwaarder dan boor, is als p-type dopeerstof onderzocht en gebruikt om een steil retrograde verdeling in het kanaal van nMOS te maken?

Antwoord: A. Indium

Indium is een acceptor uit groep III met massa 115, veel zwaarder dan boor (massa 11) en met een langzame diffusie, zodat het op ondiepe plaats tot stilstand komt en ook na warmtebehandeling een steile verdeling behoudt. Daarom werd het gebruikt voor retrograde kanaalverdelingen, met lage concentratie aan het oppervlak en hoge concentratie iets dieper, en voor halo. Nadelen zijn dat het acceptorniveau met ongeveer 0,16 eV diep ligt en bij kamertemperatuur slechts gedeeltelijk wordt geïoniseerd en dat de oplosbaarheid laag is, zodat het gebruik beperkt is.