離子佈植
假設劑量1×10¹⁵ cm⁻²的雜質均勻分布在深度100 nm的範圍內，則平均濃度約為多少？
- A1×10¹⁸ cm⁻³
- B1×10²² cm⁻³
- C1×10²⁰ cm⁻³
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正確答案：C. 1×10²⁰ cm⁻³
濃度為「劑量 ÷ 深度」，100 nm = 1×10⁻⁵ cm，因此 1×10¹⁵ ÷ 1×10⁻⁵ = 1×10²⁰ cm⁻³。與矽的原子密度5×10²² cm⁻³相比，約為每500個原子中有1個。源極、汲極這類高濃度區域約為此程度的濃度，已接近固溶度，因此如何提高活化是降低電阻的關鍵。實際的分布為高斯形，所以峰值濃度會高於此平均值。