이온 주입

도즈량 1×10¹⁵ cm⁻²의 불순물이 깊이 100 nm 범위에 균일하게 분포한다고 하면, 평균 농도는 대략 얼마인가?

  1. A1×10¹⁸ cm⁻³
  2. B1×10²² cm⁻³
  3. C1×10²⁰ cm⁻³
정답과 해설 보기

정답: C. 1×10²⁰ cm⁻³

농도는 '도즈량 ÷ 깊이'이며, 100 nm = 1×10⁻⁵ cm이므로 1×10¹⁵ ÷ 1×10⁻⁵ = 1×10²⁰ cm⁻³입니다. 실리콘의 원자 밀도 5×10²² cm⁻³와 비교하면 원자 500개에 1개의 비율입니다. 소스·드레인 같은 고농도 영역은 이 정도 농도이며 고용도에 가깝기 때문에, 활성화를 얼마나 높이느냐가 저저항화의 열쇠입니다. 실제 분포는 가우스형이므로 피크 농도는 이 평균보다 높아집니다.

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