Interconnectprocessen
Hoe heet de film die op de bovenste laag van de chip wordt gevormd en de interne schakelingen beschermt tegen vocht, verontreiniging en mechanische krassen?
- AGate-oxidefilm
- BPassivatiefilm
- CBegraven oxidefilm
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Passivatiefilm
Een passivatiefilm is een beschermfilm over het chipoppervlak; hiervoor worden siliciumnitridefilm (dikte enkele honderden nm tot ongeveer 1 µm) of oxidefilm, die vocht en ionen zoals natrium moeilijk doorlaten, en daarbovenop een harsfilm zoals polyimide die spanning verlicht, gebruikt. Hij beschermt de schakeling tegen binnendringend vocht en ionen en tegen krassen tijdens assemblage, en is onmisbaar om hoge-temperatuur- en hoge-vochtigheid-betrouwbaarheidstests te doorstaan. Alleen de delen van de elektrodepads voor wire bonding of bumps worden geopend.