Epitaxiale groei

Welke techniek, ontwikkeld door onder meer Isamu Akasaki en Hiroshi Amano, waarbij eerst bij lage temperatuur een dunne laag wordt afgezet en daarna bij hoge temperatuur GaN wordt gegroeid, dient om GaN van hoge kwaliteit op een saffiersubstraat te laten groeien?

  1. AChemisch-mechanisch polijsten
  2. BLagetemperatuur-bufferlaagtechniek
  3. CFloating-zonemethode
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Lagetemperatuur-bufferlaagtechniek

Als GaN direct op saffier wordt gegroeid, ontstaan de kiemen verspreid en groeit een ruw kristal van zeskantige zuiltjes. Akasaki, Amano en anderen slaagden er in 1986 in een vlak kristal van hoge kwaliteit met een hoge kiemdichtheid te verkrijgen door eerst bij lage temperatuur van circa 500 °C een dunne bufferlaag van AlN (enkele tientallen nm) af te zetten en daarop bij circa 1000 °C GaN te laten groeien. Deze techniek en de realisatie van p-type GaN leidden tot de blauwe led, en later werd ook een lagetemperatuur-bufferlaag van GaN zelf gebruikt.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Epitaxiale groei

  1. Welke groeimodus, die ook voor het maken van kwantumdots wordt gebruikt, houdt in dat bij een roostermismatch de eerste paar atoomlagen laag voor laag groeien en bij oplopende spanning overgaan op eilandgroei?
  2. Hoe heet het verschijnsel dat bij epitaxiale groei van silicium op een substraat met patronen zoals een buried layer de positie van de op het oppervlak zichtbare trap verschuift ten opzichte van het onderliggende patroon of de vorm vervormt?
  3. Wat is het belangrijkste doel van het inbedden van epitaxiaal gegroeid Si:C, silicium met een beetje koolstof, in source en drain van nMOS?
  4. Welke techniek in onderzoeksfase laat een kristal groeien op een substraat dat met een 2D-materiaal zoals grafeen is bedekt, zodat de gegroeide film van het substraat kan worden losgemaakt en het substraat hergebruikt?
  5. Wat is het belangrijkste doel van het toevoegen van koolstof of ijzer aan de GaN-bufferlaag onder het kanaal in een epistructuur voor GaN-HEMT's?