Nederlands
Menu

Laagafzetting (CVD, PVD)

Welke richtwaarde voor de laagdikte die in één ALD-cyclus wordt afgezet is juist?

  1. ACirca 1 µm
  2. BCirca 0,1 nm (ongeveer één atoomlaag of minder)
  3. CCirca 100 nm
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Circa 0,1 nm (ongeveer één atoomlaag of minder)

Bij ALD wordt per cyclus ongeveer één atoomlaag of minder afgezet, rond 0,1 nm, en bij grote brongasmoleculen wordt het oppervlak niet volledig bedekt en blijft het soms onder één laag. Een cyclus duurt enkele seconden tot enkele tientallen seconden, dus zelfs een laag van enkele nm vraagt tientallen cycli en enkele minuten tot enkele tientallen minuten. Om de snelheid te compenseren worden ook batch-ALD, waarbij meerdere wafers tegelijk worden verwerkt, en ruimtelijke ALD, waarbij de wafer wordt rondgedraaid door gasgebieden, gebruikt.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Laagafzetting (CVD, PVD)

  1. Welk voordeel heeft vacuümopdampen waarbij het materiaal met een elektronenbundel wordt verhit?
  2. Welke techniek laat een laag alleen op bepaalde plaatsen groeien door gebruik te maken van verschillen in oppervlaktemateriaal?
  3. Welke richtwaarde voor de dikte van dunne lagen in de halfgeleiderproductie is het meest passend?
  4. Wat is de juiste basismanier van opbouw in het productieproces van LSI?
  5. Wat is de belangrijkste reden dat veel depositieprocessen in een vacuümapparaat plaatsvinden?

Vergelijkingen bij dit onderwerp