Welke maat, in precisiefaciliteiten zoals halfgeleiderfabrieken, geeft het toelaatbare trillingsniveau van de vloer per frequentie in trappen weer als trillingssnelheid?

Antwoord: C. VC-curve (vibration criteria)

De VC-curve is een maat die de toelaatbare trilling van een vloer waarop precisieapparatuur staat in trappen vastlegt, zoals VC-A, VC-B…, als bovengrens van de trillingssnelheid per frequentieband. VC-A is 50 µm/s en bij elke trap daarna halveert de bovengrens, zodat latere trappen strenger zijn. Voor vloeren waarop belichtingsapparaten of elektronenmicroscopen staan, zijn strenge niveaus vereist, en de curve wordt gebruikt voor het ontwerp van gebouwen en de beoordeling van opstellingsplaatsen. De ISO-klasse heeft betrekking op lucht en GHS op de etikettering van chemicaliën.