Reinraum und Fertigungsanlagen

Welcher Kennwert gibt in Präzisionseinrichtungen wie Halbleiterfabriken das zulässige Schwingungsniveau des Bodens abgestuft als Schwinggeschwindigkeit je Frequenz an?

  1. AKlasse nach ISO 14644-1
  2. BGHS
  3. CVC-Kurve (Vibration Criteria)
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Antwort: C. VC-Kurve (Vibration Criteria)

Die VC-Kurve ist ein Kennwert, der die zulässigen Schwingungen von Böden, auf denen Präzisionsanlagen stehen, als Obergrenze der Schwinggeschwindigkeit je Frequenzband abgestuft als VC-A, VC-B usw. festlegt. VC-A beträgt 50 µm/s; mit jeder Stufe halbiert sich die Obergrenze, spätere Stufen sind also strenger. Für Böden, auf denen Belichtungsgeräte oder Elektronenmikroskope stehen, werden strenge Stufen verlangt; sie dienen der Gebäudeplanung und der Bewertung von Anlagenstandorten. Die ISO-Klasse betrifft die Luft, GHS die Kennzeichnung von Chemikalien.

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