Cleanroom en productieapparatuur

Welke omgevingsfactor vereist naast trillingen bijzondere aandacht bij het opstellen van elektronenstraalschrijvers of elektronenmicroscopen?

  1. AGeluid van buiten
  2. BVariaties van het magnetisch veld door onder meer nabije voedingskabels en liften
  3. CDe kleur van de verlichting
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Variaties van het magnetisch veld door onder meer nabije voedingskabels en liften

Een elektronenbundel heeft lading, zodat zelfs een geringe verandering van het magnetisch veld hem door de Lorentzkracht afbuigt en positiefouten bij het schrijven en onscherpte of fluctuatie van het beeld veroorzaakt. Zelfs variaties van circa een duizendste deel van de sterkte van het aardmagnetisch veld kunnen effect hebben. De apparatuur wordt daarom ver van kabels met een grote stroom, transformatoren en liften opgesteld, en er worden magnetische afscherming en actieve voorzieningen gebruikt die het magnetisch veld opheffen. De kleur van de verlichting heeft geen invloed.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Waardoor wordt de reinheid van een cleanroom in het algemeen uitgedrukt?
  2. Wat is de belangrijkste reden dat in het lithografiegebied gele verlichting wordt gebruikt?
  3. Welke uitspraak over de FOUP is juist?
  4. Wat is het belangrijkste doel van de methode (downflow) in een cleanroom waarbij lucht in één richting van plafond naar vloer stroomt?
  5. Welk hoogwaardig filter wordt gebruikt om fijne deeltjes uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?