Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Wat is de belangrijkste reden dat in het lithografiegebied gele verlichting wordt gebruikt?

  1. AOm vermoeidheid van de ogen van de operators te voorkomen
  2. BOm geen kortgolvig licht te bevatten waarvoor fotoresist gevoelig is
  3. COm het ontstaan van statische elektriciteit te voorkomen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Om geen kortgolvig licht te bevatten waarvoor fotoresist gevoelig is

Fotoresist reageert op licht met een golflengte korter dan circa 500 nm, zoals ultraviolet en blauw licht. Omdat gewone witte verlichting dit licht bevat, wordt gele verlichting zonder korte golflengten gebruikt om ongewenste belichting tussen coaten en ontwikkelen te voorkomen. Een dergelijk gebied heet een gele kamer (yellow room). Het is niet bedoeld om vermoeide ogen of statische elektriciteit te voorkomen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke uitspraak over de FOUP is juist?
  2. Wat is het belangrijkste doel van de methode (downflow) in een cleanroom waarbij lucht in één richting van plafond naar vloer stroomt?
  3. Welk hoogwaardig filter wordt gebruikt om fijne deeltjes uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?
  4. Hoe heet het concept waarbij alleen de kleine ruimte rond de wafers op een hoge reinheid wordt gehouden?
  5. Wat is de belangrijkste reden om de luchtdruk in een cleanroom hoger te houden dan in de omgeving (overdruk)?