Reinraum und Fertigungsanlagen
Welche Aufgabe hat der Waffle Slab, ein dicker Betonboden mit gitterförmig angeordneten Löchern, im Boden von Halbleiter-Reinräumen?
- AEr dämpft durch hohe Steifigkeit Schwingungen und lässt Luft durch die Löcher unter den Boden strömen
- BEr sammelt Regenwasser
- CEr macht den Boden leichter und senkt die Baukosten
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Antwort: A. Er dämpft durch hohe Steifigkeit Schwingungen und lässt Luft durch die Löcher unter den Boden strömen
Ein Waffle Slab ist ein dicker, durch gitterförmige Rippen verstärkter Betonboden mit vielen Löchern, die den Weg für die Downflow-Luft unter den Boden bilden. Zugleich dämpft er durch hohe Steifigkeit Schwingungen, die für Präzisionsanlagen wie Belichtungsgeräte schädlich sind. Der Name rührt daher, dass die Lochanordnung einer Waffel ähnelt. Über den Löchern liegen Gitterroste, sodass der Boden begehbar ist. Es handelt sich um eine schwere, steife Konstruktion, das Gegenteil einer Leichtbauweise.