Cleanroom en productieapparatuur
Wat is de belangrijkste reden dat het binnenoppervlak van roestvrijstalen leidingen voor hoogzuivere gassen in een halfgeleiderfabriek elektrolytisch wordt gepolijst (EP)?
- AOm de leidingen lichter te maken
- BOm het binnenoppervlak glad te maken en deeltjesvorming en adsorptie en desorptie van vocht en onzuiverheden te onderdrukken
- COm de leidingen te kleuren zodat het type te onderscheiden is
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Om het binnenoppervlak glad te maken en deeltjesvorming en adsorptie en desorptie van vocht en onzuiverheden te onderdrukken
Als het binnenoppervlak van een leiding oneffenheden heeft, komen er deeltjes vrij en adsorberen vocht en onzuiverheden, die later geleidelijk weer vrijkomen, zodat de zuiverheid van het gas daalt. Door elektrolytisch polijsten wordt het binnenoppervlak spiegelglad en ontstaat een stabiele passiveringsfilm die rijk is aan chroomoxide; zo wordt ook corrosie onderdrukt en wordt hoogzuiver gas zonder verontreiniging tot de apparatuur gebracht. Als materiaal wordt vaak koolstofarm roestvast staal SUS316L gebruikt. Gewichtsbesparing of herkenning is niet het doel.