반도체 공장에서 고순도 가스를 공급하는 스테인리스 배관의 내면에 전해 연마(EP)를 하는 주된 이유는 무엇인가?

정답: B. 내면을 매끄럽게 하여 입자 발생과 수분·불순물의 흡착 및 방출을 억제하기 위해

배관 내면에 요철이 있으면 입자가 발생하거나, 수분이나 불순물이 흡착되었다가 나중에 조금씩 방출되어 가스의 순도가 떨어집니다. 전해 연마로 내면을 거울처럼 매끄럽게 하고 표면에 크롬 산화물이 풍부한 안정된 부동태 피막을 만들면 부식도 억제되어, 고순도 가스를 오염시키지 않고 장비까지 전달할 수 있습니다. 재료로는 저탄소 스테인리스강 SUS316L이 자주 사용됩니다. 경량화나 식별이 목적은 아닙니다.

• A. 경량화가 목적이 아닙니다.
• B. 맞습니다. 매끄러운 내면으로 오염을 억제합니다.
• C. 종류의 식별은 표시나 라벨로 합니다.