Reinraum und Fertigungsanlagen

Was ist der Hauptgrund dafür, die Innenfläche von Edelstahlrohren für hochreine Gase in Halbleiterfabriken elektrolytisch zu polieren (EP)?

  1. AUm die Rohre leichter zu machen
  2. BUm die Innenfläche zu glätten und die Partikelerzeugung sowie die Adsorption und Desorption von Feuchtigkeit und Verunreinigungen zu unterdrücken
  3. CUm die Rohre farblich zu markieren, damit sich die Art unterscheiden lässt
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Antwort: B. Um die Innenfläche zu glätten und die Partikelerzeugung sowie die Adsorption und Desorption von Feuchtigkeit und Verunreinigungen zu unterdrücken

Hat die Rohrinnenfläche Unebenheiten, entstehen Partikel, oder Feuchtigkeit und Verunreinigungen werden adsorbiert und später allmählich wieder abgegeben, wodurch die Gasreinheit sinkt. Durch elektrolytisches Polieren wird die Innenfläche spiegelglatt, und es bildet sich ein stabiler, chromoxidreicher Passivfilm, der auch die Korrosion unterdrückt und das hochreine Gas ohne Verunreinigung zur Anlage bringt. Als Werkstoff wird häufig kohlenstoffarmer Edelstahl SUS316L verwendet. Gewichtsersparnis oder Kennzeichnung sind nicht der Zweck.

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